エネルギー分散型蛍光X線分析

◆エネルギー分散型蛍光X線分析とは?簡単な原理説明



蛍光X線分析装置は、X線を物質に照射した際に発生する蛍光X線に含まれている特性X線のエネルギーを強度として計測することにより、非破壊、多元素同時かつ前処理不要で粉末、液体、固体試料中の元素分析や元素分布を容易に測定する分析装置である。
定性・定量分析が可能であることから、様々な分野で研究開発、品質管理の手法として使用されている(工業材料の分析、生物学的、医学的試料の分析、環境分析、貴重資料の分析など)。蛍光X線分析装置は、蛍光X線の検出方法により波長分散方式(WDX)とエネルギー分散方式(EDX)の二種類に分けられる。
EDX は、電子線やX線などの一次線を物体に照射した際に発生する特性X線もしくは蛍光X線を半導体検出器などのようなエネルギー分散型検出器にて検出し、そのエネルギーと強度から、物体を構成する元素と濃度を調べる元素分析手法である。このため、全エネルギーの蛍光 X 線を同時に測定でき、分析時間が短いというメリットがあるが、エネルギー分解能は WDX に比べ劣り、多元素試料では定量性に欠ける場合もある。
また、エネルギー分散型X線分析は用途によって、汎用タイプとハンドヘルドタイプの2種類がある。
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汎用タイプはリガク、島津製作所、日立ハイテク、ブルカーAXS、パナリティカル、堀場製作所、日本電子、アワーズテック、アメテック、テクノエックスが、ハンドヘルドタイプは、オリンパス、リガク、堀場製作所、ブルカーAXS、アメテック(スペクトロ)、ポニー工業が製造/販売をしている。

<メーカー一覧表(汎用タイプ)>

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リガク NEXシリーズ メーカー問い合わせ先
島津製作所 EDX-7000/8000
EDX-LE
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日立ハイテク EAシリーズ メーカー問い合わせ先
ブルカー S2 RANGER
S2 PUMA 
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パナリティカル Epsilon 1シリーズ
Epsilon 3X シリーズ
Epsilon 5シリーズ
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堀場製作所 MESA-50
MESA-50K
XGTシリーズ
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日本電子 JSX-1000S メーカー問い合わせ先
アワーズテック OURSTEXシリーズ メーカー問い合わせ先
アメテック Spectroシリーズ メーカー問い合わせ先
テクノエックス FDシリーズ メーカー問い合わせ先

 

<メーカー一覧表(ハンドヘルドタイプ>

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オリンパス DELTAシリーズ メーカー問い合わせ先
リガク Nitonシリーズ メーカー問い合わせ先
堀場製作所 MESAシリーズ メーカー問い合わせ先
ブルカーAXS S1 TITAN
Tracer
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アメテック/td> SORT メーカー問い合わせ先
ポニー工業 DELTAシリーズ メーカー問い合わせ先
日本電子 販売終了

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◆エネルギー分散型X線分析の詳しい原理はここ!!

そもその蛍光X線って何??
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