波長分散型蛍光X線分析装置

◆蛍光X線分析装置とは?簡単な原理説明



蛍光X線分析装置は、X線を物質に照射した際に発生する蛍光X線に含まれている特性X線のエネルギーを強度として計測することにより、非破壊、多元素同時かつ前処理不要で粉末、液体、固体試料中の元素分析や元素分布を容易に測定する分析装置である。
定性・定量分析が可能であることから、様々な分野で研究開発、品質管理の手法として使用されている(工業材料の分析、生物学的、医学的試料の分析、環境分析、貴重資料の分析など)。蛍光X線分析装置は、蛍光X線の検出方法により波長分散方式(WDX)とエネルギー分散方式(EDX)の二種類に分けられる。
WDX の装置構成は、ブラッグの法則を利用した結晶分光器を用いて、試料から放射された蛍光X線を分光し、波長(エネルギー)毎に検出するので、高いエネルギー分解能が得られ、特定の波長を正確に測定することが可能である。しかし、感度は前者に比べて低い。
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日本メーカーでは、リガク、島津製作所、海外メーカーではブルカー、パナティカルが製造/販売をしています。
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ブルカー S8 TIGER ECO
S8 TIGER
S8 LION
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パナリティカル Zetium
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(参考)波長分散型蛍光X線分析装置法の詳しい原理説明

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