SEMのアプリケーション

SEMのアプリケーション

SEMTEM/STEMと同様にサンプルを画像でとらえることができます。しかし、定性的な分析や結晶に関する情報はそのままでは得られません。下記の代表的なアプリケーションを用いることにより、試料の構成元素、組成、化学結合状態や結晶情報を得ることができます。

EDS

エネルギー分散型X線分光法(Energy dispersive X-ray spectrometry:EDXまたはEDS)は、電子線がサンプルに照射された際に発生する特性X線(蛍光X線)を半導体検出器のようなエネルギー分散型検出器にて検出し、発生した電子-正孔対のエネルギーと個数から、物体を構成する元素と濃度を調べる元素分析手法です。

QUANTAX with XFlash® 6

写真はBruker社のQUANTAXシリーズ

Brukerの資料が非常に分かりやすいです。

EBSP

後方散乱電子回折像(Electron Backscatter diffraction Pattern:EBSP、Electron Back Scatter Diffraction Patterns : EBSDとも言う)は、主として試料の結晶方位の測定するアプリケーションである(結晶方位以外にも結晶粒径、粒界方位差、相分布、方位関係等、多種多様な解析が行える)。SEM内で、試料を約70°傾斜して電子線照射を行った際に、後方散乱電子が結晶格子面で回析されて生じるパターン(菊池パターン)をCCDカメラなどで取り込み、その照射店の結晶方位等の解析を行う、というのが簡単な原理です。

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