TEM/STEMのアプリケーション

TEM/STEMはSEMと同様にサンプルを画像でとらえることができます。しかしながら、定性的な分析はそのままではできません。サンプルが見えたらそれが何か、定性的な分析をしたくなるものです。その思いを叶えてくれる代表的なアプリケーションが以下の2つになります。

EDS/EDX
エネルギー分散型X線分光法(Energy dispersive X-ray spectrometry:EDXまたはEDS)は、電子線がサンプルに照射された際に発生する特性X線(蛍光X線)を半導体検出器のようなエネルギー分散型検出器にて検出し、発生した電子-正孔対のエネルギーと個数から、物体を構成する元素と濃度を調べる元素分析手法である。

写真はOxford Instrument社のTEM用EDS

EELS
電子エネルギー損失分光法(Electron Energy-Loss Spectroscopy:EELS)は入射電子と物質との非弾性錯乱の結果生じた電子エネルギー損失スペクトルから、試料の組成や化学結合状態などを解析する手法である。TEMやSTEMとの組み合わせにより、高い空間分解能を実現でき、前述のエネルギー分散型X線分光法(EDS)と並ぶ代表的な計測方法である。

写真はGatan社のEELS用フィルタ

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